Application of a liquid metal ion source to secondary ion mass spectrometry
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Auteurs : RBID : ISTEX:216_1984_Article_BF01226756.pdfAbstract
Eine Indium-Flüssigmetall-Ionenquelle wurde in eine Quadrupol-Ionensonde eingebaut und ihre Einsetzbarkeit als Primärstrahlquelle in der Sekundärionen-Massenspektrometrie geprüft. Die Sekundärionenemission von Reinelementen wurde für 10 keV In+- und 10 keV O2+-Bombardement untersucht. Für die meisten Elemente sind die positiven und negativen Sekundärionenausbeuten unter In+-Beschuß vergleichbar mit jenen, die man mit O2+ Primärionen erhält. Weiterhin wurden Tiefenprofile an einem Ni/Cr-Vielschichtsystem (Dicke der einzelnen Schichten 10 nm), einem oberflächennahen O-Implantationsprofil in Si- und Oxidschichten auf Nb unter Verwendung von In+-Primärionen gemessen. Die Ergebnisse zeigen, daß Flüssigmetall-Ionenquellen erfolgreich in der Sekundärionen-Massenspektrometrie eingesetzt werden können.
DOI: 10.1007/BF01226756
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<record><TEI><teiHeader><fileDesc><titleStmt><title>Application of a liquid metal ion source to secondary ion mass spectrometry</title><author><name>H. Gnaser</name><affiliation wicri:level="1"><mods:affiliation>Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik, Kernforschungsanlage Jülich, D-5170, Jülich, Federal Republic of Germany</mods:affiliation><country xml:lang="fr">Allemagne</country><wicri:regionArea>Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik, Kernforschungsanlage Jülich, D-5170, Jülich</wicri:regionArea><wicri:noRegion>Jülich</wicri:noRegion><wicri:noRegion>Jülich</wicri:noRegion></affiliation><affiliation wicri:level="1"><mods:affiliation>Austrian Research Center Seibersdorf, A-1082, Vienna, Austria</mods:affiliation><country xml:lang="fr">Autriche</country><wicri:regionArea>Austrian Research Center Seibersdorf, A-1082, Vienna</wicri:regionArea><wicri:noRegion>Vienna</wicri:noRegion></affiliation></author></titleStmt><publicationStmt><idno type="RBID">ISTEX:216_1984_Article_BF01226756.pdf</idno><date when="1984">1984</date><idno type="doi">10.1007/BF01226756</idno><idno type="wicri:Area/Main/Corpus">000985</idno><idno type="wicri:Area/Main/Curation">000985</idno><idno type="wicri:Area/Main/Exploration">000732</idno></publicationStmt></fileDesc><profileDesc><textClass></textClass></profileDesc></teiHeader><front><div type="abstract" xml:lang="ger">Eine Indium-Flüssigmetall-Ionenquelle wurde in eine Quadrupol-Ionensonde eingebaut und ihre Einsetzbarkeit als Primärstrahlquelle in der Sekundärionen-Massenspektrometrie geprüft. Die Sekundärionenemission von Reinelementen wurde für 10 keV In+- und 10 keV O2+-Bombardement untersucht. Für die meisten Elemente sind die positiven und negativen Sekundärionenausbeuten unter In+-Beschuß vergleichbar mit jenen, die man mit O2+ Primärionen erhält. Weiterhin wurden Tiefenprofile an einem Ni/Cr-Vielschichtsystem (Dicke der einzelnen Schichten 10 nm), einem oberflächennahen O-Implantationsprofil in Si- und Oxidschichten auf Nb unter Verwendung von In+-Primärionen gemessen. Die Ergebnisse zeigen, daß Flüssigmetall-Ionenquellen erfolgreich in der Sekundärionen-Massenspektrometrie eingesetzt werden können.</div></front></TEI><mods xsi:schemaLocation="http://www.loc.gov/mods/v3 file:///applis/istex/home/loadistex/home/etc/xsd/mods.xsd" version="3.4" istexId="ac01e4c70bcd4e84117a15b37ebd16e0d1e982d1"><titleInfo lang="eng"><title>Application of a liquid metal ion source to secondary ion mass spectrometry</title></titleInfo><titleInfo lang="ger"><title>Verwendung einer Flüssigmetall-Ionenquelle in der Sekundärionen-Massenspektrometrie</title></titleInfo><name type="personal"><namePart type="given">H.</namePart><namePart type="family">Gnaser</namePart><role><roleTerm type="text">author</roleTerm></role><affiliation>Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik, Kernforschungsanlage Jülich, D-5170, Jülich, Federal Republic of Germany</affiliation><affiliation>Austrian Research Center Seibersdorf, A-1082, Vienna, Austria</affiliation></name><typeOfResource>text</typeOfResource><genre>Original Papers</genre><genre>Original Paper</genre><originInfo><publisher>Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg</publisher><dateCreated encoding="w3cdtf">1984-05-09</dateCreated><dateValid encoding="w3cdtf">2005-01-26</dateValid><copyrightDate encoding="w3cdtf">1984</copyrightDate></originInfo><language><languageTerm type="code" authority="iso639-2b">eng</languageTerm></language><physicalDescription><internetMediaType>text/html</internetMediaType></physicalDescription><abstract lang="ger">Eine Indium-Flüssigmetall-Ionenquelle wurde in eine Quadrupol-Ionensonde eingebaut und ihre Einsetzbarkeit als Primärstrahlquelle in der Sekundärionen-Massenspektrometrie geprüft. Die Sekundärionenemission von Reinelementen wurde für 10 keV In+- und 10 keV O2+-Bombardement untersucht. Für die meisten Elemente sind die positiven und negativen Sekundärionenausbeuten unter In+-Beschuß vergleichbar mit jenen, die man mit O2+ Primärionen erhält. Weiterhin wurden Tiefenprofile an einem Ni/Cr-Vielschichtsystem (Dicke der einzelnen Schichten 10 nm), einem oberflächennahen O-Implantationsprofil in Si- und Oxidschichten auf Nb unter Verwendung von In+-Primärionen gemessen. Die Ergebnisse zeigen, daß Flüssigmetall-Ionenquellen erfolgreich in der Sekundärionen-Massenspektrometrie eingesetzt werden können.</abstract><abstract lang="eng">An indium liquid metal ion source has been incorporated in a quadrupole-based ion microprobe and its performance as a primary ion source for secondary ion mass spectrometry was evaluated. Secondary ion emission of pure elements was studied for 10 keV In+ and 10keV O2+ bombardment. For most of the elements investigated positive and negative secondary ion yields under In+ impact are comparable to those obtained with O2+ primary ions. In addition, depth profiles of a Ni/Cr multilayer sample (10 nm single-layer thickness), a shallow oxygen implant in silicon and oxide layers on niobium were obtained using In+ ions for sputter erosion. The results indicate that liquid metal ion sources can be applied successfully in secondary ion mass spectrometry.</abstract><relatedItem type="series"><titleInfo type="abbreviated"><title>Z. Anal. 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